SJT 31125-1994 PET-5500型常压CVD完好要求和检查评定方法
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ID： |
5A50073F34724EE583DD68AE284826C1 |
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文件大小(MB)： |
0.27 |
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2 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,PET—5500型常压CVD完好要求,和检查评定方法,sj/t 31125—94,主题内容和适用范围,本标准规定了 PET—5500型CVD的完好要求和检査、评定方法,本标准只适用ナPET—550。型CVDO,2完好要求,2.I 主要技术性能指标,2.1.1 热板温度分布均勺性:430 士 5C;同一测点在8h内允差,〈士 21,2.1-2 喷头喷射气体膜厚均勺性（片内、片间、批间）：0-5±5%/nn5JatoxV5%）,2.1.3 膜表面质量应基本无发花,即。-5f!以上的颗粒每片应小于 个,2- 1-4 气密性 Nz 检査:压カ 1-96X10'5pa,经 24h 漏气 く4.9Xl（）Spa,2.1.5 质量流れ计显示数字跳动:士 1格,2-2操作系统,2- 2-1应操作开关、按钮启动灵活、定位可靠、标志齐仝.,2-2-2制动限位装置齐全,灵敏可靠,2.3传动系统,2- 3-1热板运行速度平稳可靠,2-3-2滚轮,钢丝绳等灵活可靠,2-3-3喷气头支承高度调整机构戾活可靠,2-4气路系统,2-4-1各气缸、电磁阀、气动阀、流旧计工作正常,2.4 .2 Nハ（）。麦指灵敏、可靠,误差在规定范围内，有有效期检验合格证,2.4 -3管道行阀各联接点联接牢樹.密封性好,无泄漏和堵塞现象,2.5 电气系统,2. 5-1电气箱内清沾,布线整齐,线路无破损老化。各种线路标忐明显,联接可靠,2. 5.2白动保护及报警装置齐全,工作正常,2. 5.3加热控制部分安全可靠,2- 5-4各指示灯齐全,指东准确,各按钮开关灵活可靠。各仪表指示准确,工作可靠,2.5- 5各种仪表性能良好,功能可靠、指示准确、误差乍规定范围内,有有效期检验合格证,2-6微机控制系统,中华人民共和国电子工业部1994 04-15批准 1994-06-01实施,SJ/T 31125-94,2. 6.1各开关、按扭、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全、性能稳定,工作状态良好,显示清晰,2.6- 2显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2. 6-3输入/输出程序正确无误,2.6.4打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,2.6- 5装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,2.6.6所有裸露导体件(包括外壳),必须与保护接地端子构成通路,保证有永久良好的导电,性,保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于1外,2./安全防护,2.7.1电气绝缘装置良好。排毒气装置工作可靠.,2. 7.2门帘开关良好,2.8维护保养,2- 8-1确保设备内外清洁、整齐,无碎硅屑片及杂物,无油垢,无锈蚀..,2. 8. 2其它按SJ/T 31002—91《设备维护保养逋则》执行,3检查、评定方法,3.1 检査方法,3-1.1对热板温度分布均匀性,用HL—300温度计测试热板表面温度1()个点取平均值,3-1-2膜犀分布均匀性用AFF200膜测试仪进行检测俳片,3.1.3对0-5び的上颗粒〈1Q个,一般采用镜检方法来检杏,3-2评定内容,3. 2-1 主要项目主 1. 1,2. 1. 2,2.1. 3,2. 1,4,2.1.5.2. 7.1.2. 7. 2保余均为次夔项目.,3-2-2主要项目有一项不符合要求,为不完好设斜;次要项目有二项不符合要求“亦为不完好,设备,3-2-3完好设备的维护保养,应达到优等设侪标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体改司提出?,本标准由中国华晶电子集团公司负责起草,本标准主要起草人:冯金良、郑振芳、杨建国、顾军建、吴正伟,2……
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